露点/相对湿度百分比/ppmRH对照表

舞长安

露点/相对湿度百分比/ppmRH对照表
露点仪显示湿度	相对湿度百分比RH/%（21.12℃环境之下）	露点仪显示湿度	相对湿度百分比RH/%（21.12℃环境之下）
-100	0.000053	-40	0.516
-98	0.000080	-38	0.644
-98	0.00012	-36	0.804
-94	0.00018	-34	1.00
-92	0.00026	-32	1.24
-90	0.00037	-30	1.52
-88	0.00054	-28	1.88
-86	0.00075	-26	2.30
-84	0.00107	-24	2.81
-82	0.00155	-22	3.41
-80	0.00214	-20	4.13
-78	0.00300	-18	5.00
-76	0.00410	-16	5.03
-74	0.00559	-14	7.25
-72	0.00762	-12	8.69
-70	0.0104	-10	10.4
-68	0.0140	-8	12.4
-66	0.0187	-6	14.7
-64	0.0248	-4	17.5
-62	0.0328	-2	20.7
-60	0.0430	0	24.4
-58	0.0565	2	28.2
-56	0.0735	4	32.5
-54	0.0948	6	37.4
-52	0.123	8	42.9
-50	0.157	10	49.1
-48	0.202	12	56.1
-46	0.257	14	63.9
-44	0.325	16	72.5
-42	0.410	18	82.5
备注：1、湿度按露点需达到-28%RH以下方可生产；
2、注液手套箱内露点（湿度、温度）每隔半小时测量记录一次。