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西门子CALOMAT6热导气体分析仪,用于二元气体或准二元混合气体中氢气或氦气的定量分析。 测量原理基于不同气体具有不同的热导率。 CALOMAT6传感器是采用超微技术制造的一种硅片。硅片带有测量膜和薄膜电阻。 该薄膜 ...
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